编号

名称

历史版本

修订版本

ISO14644-1

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration洁净室及相关受控环境-第1部分：基于粒子浓度的空气洁净度分级

1999年第1版

2015年第2版

ISO14644-2

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration洁净室及相关受控环境-第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据

2000年第1版

2015年第2版

ISO14644-3

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 3: Test methods洁净室及相关受控环境-第3部分：测试方法

2005年第1版 

2019年第2版

ISO14644-4

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 4: Design, construction and start-up洁净室及相关受控环境-第4部分：设计、建造和启动

2001年第1版 

第2版更新中

ISO14644-5

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 5: Operations洁净室及相关受控环境-第5部分：运行

2004年第1版 

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ISO14644-6

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 6: Vocabulary洁净室及相关受控环境-第6部分：词汇

2007年第1版 

2014年撤销

ISO14644-7

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)洁净室及相关受控环境-第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）

2004年第1版

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ISO14644-8

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)洁净室及相关受控环境-第8部分：基于化学浓度的空气洁净度分级

2006年第1版

2013年第2版

ISO14644-9

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration洁净室及相关受控环境-第9部分：基于粒子浓度的表面洁净度分级（适用于汽车/飞机表面涂装应用)

2012年第1版

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ISO14644-10

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration洁净室及相关受控环境-第10部分：基于化学浓度的表面洁净度分级 （适用于汽车/飞机表面涂装应用)

2013年第1版

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ISO14644-11

暂无信息

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ISO14644-12

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration洁净室及相关受控环境-第12部分：纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的规范

2018年第1版 

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ISO14644-13

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications洁净室及相关受控环境-第13部分：通过表面清洁以达到规定的基于悬浮粒子和化学物质洁净度分级的洁净级别（适用于汽车/飞机表面涂装应用)

2017年第1版 

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ISO14644-14

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration洁净室及相关受控环境-第14部分：通过悬浮粒子粒浓度评估设备的适用性

2016年第1版 

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ISO14644-15

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration洁净室及相关受控环境-第15部分：通过空气中的化学物质浓度评估设备和材料的适用性

2017年第1版 

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ISO14644-16

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 16: Code of practice for improving energy efficiency in cleanrooms and clean air devices洁净室及相关受控环境-第16部分：提高洁净室和洁净装置能源效率的实施规程

2020年第1版

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ISO14644-17

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 17: Particle deposition rate applications洁净室及相关受控环境-第17部分：粒子沉降速率应用

草案修订中

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