嘉峪检测网 2025-08-20 20:21
导读:在电子元器件从设计到使用的全生命周期中,失效分析(Failure Analysis, FA)是确保可靠性的核心环节。它如同电子世界的"法医学",通过系统化的方法揭示器件失效的真相。本文将侧重说明失效物理分析(PFA)的基本程序、常见失效模式与机理,以及关键注意事项,带您走进精密电子器件的微观世界。
在电子元器件从设计到使用的全生命周期中,失效分析(Failure Analysis, FA)是确保可靠性的核心环节。它如同电子世界的"法医学",通过系统化的方法揭示器件失效的真相。本文将侧重说明失效物理分析(PFA)的基本程序、常见失效模式与机理,以及关键注意事项,带您走进精密电子器件的微观世界。
一、失效分析常规程序
分析失效器件的每个步骤都应获得必要的信息。很多分析步骤是破坏性的,无法重复进行(是一次性的)。所以应按程序小心进行,先进行“非破坏性”分析、后采取开封、切片等“破坏性”分析手段,防止将“元凶”弄掉或带入新的破坏因素。
开封前检测
失效信息收集:调查失效现象、使用环境、历史数据
外观检查:观察丝印标识、外观引脚、损伤、腐蚀等
电特性测试:半导体特性IV曲线测试
X_Ray/声扫:观察器件内部键合、引线、是否分层、损伤等
密封性测试:检测管壳气密性(针对部分器件)
失效模式分类:初步判定开路、短路、参数退化等类型
管壳开封处理
采用化学或机械方法开启封装:
• 塑料封装:发烟硝酸/硫酸腐蚀
• 金属/陶瓷封装:精密机械开封
关键要求:避免引入新损失或污染
开封后微观分析
根据情况采用以下部分手段:
• 显微检查:观察芯片工艺缺陷
• 扫描电镜:大景深高分辨率观察
• 去钝化层:去除铝膜或SiO₂膜
• 剖面分析:磨角染色观察
• 材料分析:SEM/EDS成分检测
报告与结论
• 整理数据,形成失效分析报告
• 明确失效模式和失效机理
程序要点提示:
1. 分析具有破坏性且不可逆,必须按顺序谨慎操作
2. 每个步骤需获取充分信息后再进入下一步
3. 根据器件和失效情况选择适用的设备仪器和手段
4. 明确失效机理为进一步开展根因分析提供依据
二、失效模式与机理:半导体的"疾病谱"
常见失效模式
失效模式就是失效的形式,即表现出来的特征。它可以分为六大类:开路、短路、功能丧失、特性退化(劣化)、结构材料不良、重测合格。
失效模式 |
典型失效表现案例 |
造成的影响 |
短路 |
介质击穿(如电容介质层破裂、PCB基材碳化) |
电流异常绕过设计路径,局部过流 |
金属迁移(如银离子迁移、电化学枝晶生长) |
形成导电通道,电路异常导通 |
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过压击穿(如MOS管漏源极雪崩击穿) |
瞬间短路、烧毁元件 |
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污染导电(助焊剂残留、金属碎屑桥接) |
非设计路径导通 |
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开路 |
引线断裂(键合开裂、导线脱离) |
电路中断 |
材料断裂(焊点疲劳、保险熔断) |
物理连接失效,电路不通 |
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界面分离(LED芯片与基板分离) |
热阻增大或信号传输中断 |
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腐蚀断路(PCB铜箔硫化发黑) |
导电层完全氧化阻断电流 |
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功能丧失 |
固件错误(程序逻辑缺陷、存储器损坏、Flash改写) |
设备无法启动或执行基础操作 |
电源失效(电源输出异常) |
供电不足或过压保护触发 |
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核心元件死机(MCU失效、时钟停振、复位无效) |
系统宕机 |
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特性退化/劣化 |
阻值漂移(碳膜氧化、湿气侵入) |
参数偏离设计范围,性能下降 |
光效衰减(LED封装材料褐变) |
亮度降低或色温偏移 |
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漏电流增加(PN结热损伤或离子污染) |
功耗增大、寿命降低 |
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机械磨损(接插件多次插拔) |
阻抗增大、功耗增大、增大压降 |
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结构材料不良 |
腐蚀穿孔(晶间腐蚀、点蚀) |
结构强度丧失或密封失效 |
变形失效(塑性变形、蠕变下垂) |
装配精度下降或功能受限 |
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分层开裂(封装气泡膨胀、热应力剥离) |
密封性破坏或机械强度降低 |
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异物污染(硅片颗粒、封装杂质) |
短路风险或光学性能下降 |
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重测合格 |
接触不良(连接器氧化、插座弹片松弛) |
间歇性功能中断 |
环境敏感性(热胀冷缩引发BGA焊球微裂纹) |
温度波动时功能不稳定 |
|
信号干扰(电磁噪声耦合误触发) |
误动作或重启后恢复 |
失效机理深度解析
失效机理是器件失效的实质原因,即引起器件失效的物理或化学变化过程。
失效机理 |
物理/化学影响过程 |
设计缺陷 |
器件版图、工艺方案、电路和结构等方面的设计缺陷 |
体内劣化 |
二次击穿、CMOS闩锁效应、中子辐射损伤、重金属沾污和材料缺陷引起的结特性退化、瞬间功率过载等。 |
表面劣化 |
钠离子沾污引起沟道漏电、γ 辐照损伤,表面击穿(蠕变)、表面复合引起小电流增益减小等 |
金属化劣化 |
金铝合金、铝电迁移、铝腐蚀、铝划伤、铝缺口、台阶断铝、过电应力烧毁等 |
氧化层缺陷 |
针孔、氧化层厚度不均匀、接触孔钻蚀、介质击穿等 |
键合缺陷 |
键合颈部损伤、键合强度不够、键合面沾污金-铝合金、键合位置不当、键合丝损伤、键合丝长尾、键合应力过大损伤硅片 |
封装劣化 |
管腿腐蚀、管腿损伤、漏气、壳内有外来物引起漏电或短路、绝缘珠裂缝、标志不清 |
使用不当 |
静电损伤、电浪涌损伤、机械损伤、过高温引起、干扰信号引起、焊剂腐蚀管脚等 |
三、失效分析实验室:专业装备配置
基础分析设备配置
设备类型 |
仪器名称 |
主要功能 |
观测设备 |
立体显微镜、金相显微镜(带摄影) |
微观结构观察、缺陷定位 |
电特性测试设备 |
特性曲线图示仪、集成电路测试仪、示波器、数字电压表、直流电源、电流表、小信号发生器、脉冲发生器、电容表等 |
电性能验证、参数分析 |
试验设备 |
高温箱、低温箱、微拉力计(测量键合丝拉力)和检漏设备 |
环境模拟、键合强度测试 |
解剖工具及辅助设备 |
机械微探针、管壳开启器、研磨设备及夹具、超声波清洗器、电炉和常用工具(齐套) |
样品处理、截面制备 |
化学处理间 |
需备注通风柜。去除塑料或树脂的发烟硝酸、发烟硫 酸,去除铝的 NaOH和稀硫酸等,去除钝化层的光刻腐蚀液(或氢氟酸加氟化铵溶液),PN结染色液(按方配制),硅材料选择性腐蚀液(sirt腐蚀液),无水乙醇和丙酮等有机溶剂 |
材料去除、染色分析 |
安全防护用品 |
橡胶手套、防护眼镜、防护工作服、护面等 |
保护操作分析人员 |
高端分析设备(外协)
有些失效分析设备(扫描电镜、透射电镜、X射线微探针、离子微探针、红外微热像仪、X射线光电子能谱仪等)非常昂贵,可以向拥有这些设备的单位采取外协的方式,租用或委托使用他们的设备开展失效分析。使用这些设备的分析的费用也较高,应周密考虑选择合适的分析设备,只对具有代表性的个别关键性样品进行某项失效机理分析。
四、失效分析黄金准则
操作注意事项
• 保护失效样品:非专业人员不要擅自拆卸器件,避免对失效器件施加额外机械/电/热应力
• 充分调查了解:详细了解失效器件的使用条件、失效过程、失效数量、历史数据
• 设备适配性:根据分析目标选择最合适设备(避免过度使用高端设备)
分析人员要求
• 掌握半导体物理、器件设计、工艺制程等专业知识
• 熟悉失效机理理论与分析技术
• 具备交叉学科知识(材料科学、化学分析)
• 接受专业培训(失效分析技术、化学安全)
协作机制
• 建立设计-制造-使用三方协作平台
• 定期召开跨部门失效分析会议
• 共享失效数据库与改进方案
五、结语
失效分析是融合材料科学、电子工程、物理化学的交叉学科,其实质是通过系统方法揭示失效的物理化学本质。精准的失效分析不仅能解决当前问题,更能推动设计改进、工艺优化和可靠性提升,形成"分析-改进-验证"的质量闭环。在半导体技术飞速发展的今天,失效分析已成为保障电子产品质量的核心竞争力。
来源:易瑞来可靠性工程