刻蚀在芯片制造过程中占据着极为关键的地位，它是一个把光刻胶上所形成的图形转换到光刻胶下方各层材料之上的工艺步骤。

    在芯片制造领域，常见的刻蚀方式主要有湿法刻蚀和干法刻蚀这两种类型。在本文当中，我们主要的目的是对湿法刻蚀的部分配方进行分享与展示。这些配方有着特殊的用途，它们能够被应用在芯片的失效分析工作之中。

    接下来详细说说湿法刻蚀。湿法刻蚀这种工艺是利用恰当的化学试剂来进行操作的。具体而言，首先，这些化学试剂会针对未被光刻胶所覆盖的晶片部分发挥作用，将这部分晶片分解开来。然后，经过分解后的物质会形成可溶性的化合物，这样就能够达到将未被光刻胶覆盖部分去除的目的了。

 

下面介绍几种硅基芯片材料的刻蚀配方：

1、硅的刻蚀：选用硝酸与氢氟酸或者醋酸的混合水溶液为腐蚀液，其中醋酸的作用是降低硝酸溶解度，水溶液作为稀释液。

反应过程：

1）硝酸使硅氧化形成氧化硅：

2）氢氟酸溶解氧化硅层：

 

 

 

2、氧化硅的刻蚀：BOE溶液，通常使用氟化铵作为缓冲剂稀释45%浓度的氢氟酸，常用的配方为。

反应过程：

 

 

 

3、氮化硅的刻蚀：氢氟酸缓冲液和沸腾的磷酸，使用185℃含量为85%的磷酸溶液作为氮化硅和氧化硅之间的选择腐蚀剂。

 

4、铝的腐蚀：热磷酸、硝酸、醋酸和去离子水混合液。

配方：73%H3PO4+4%HNO3+3.5%CH3COOH+19.5%DI水

温度：80℃

反应过程：

1）铝和硝酸反应生成氧化铝

2）氧化铝和磷酸反应生成磷酸盐

 

 

 

汇总：

来源：Top Gun实验室

关键词： 芯片